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                真空镀膜设备

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                真空镀膜设备

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                常规配置
                ? 真空泵系统
                低真空泵:旋片式机械泵(蒸压机械泵:930m3 h-1)
                高真空泵:扩散泵(选择:低温泵或滑轮分子泵)

                ? 真空阀系统
                型号:3/8”,2”,4”,22“

                ? 真空室加热系统
                高温度:0到400℃
                型号:滷素灯(选择:微型加热器)
                基片型号:球面型或行星型
                转速:0到30转速/分
                软起,软停,可调速泸

                ? 电子控制系统
                型号:计算机控制面板
                可修改和改变任何需要的控制
                全程控制镀膜以达到产品所需的要求
                提供所需要的技术信息

                ? 真空计系统
                高真空感应器:2
                低真空感应器:1
                选择配置
                ? 薄膜沉积控制系统
                沉积控制:IC-5 (INFICON)
                MDC360 (MAXTEK)等等
                石英晶髓感应器:1,2,6头

                ? 光控离子源
                无栅型:直流型
                灯丝型:直流型,频射型

                ? 电子束源
                容量:15cc,25cc,40cc等等
                偏转角度:180度或270度
                坩锅:4,6,8倜等等

                ? 深冷系统
                除霜室
                扩散泵

                ? 水冷却系统
                水或气冷却器
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