真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，需要高真空度的设备，通常我们需要到高真空度，抽气系统的作用是很重要的，但除了抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是，工件的除气。有些工件它本身内部存在着，很多的气体、水分等，这些物质会随着设备加热时，被排放到真空室中，降低了真空度，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。
　　另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是很重要的。