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　　处理镀膜设备灰尘的要求：
　　1、设备使用的源材料要符合纯度要求。
　　2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。
　　3、镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。
　　4、镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。
　　5、镀膜适当的增加环境的湿度，利于减少周围环境的悬浮固体颗粒物。
　　6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要有相应的服装。