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                真空镀膜设备

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                  镀膜设备的蒸发系统主要指成膜装置部分,成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等方式,其电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用较多,较广的蒸发方式,也是应用时间较长的蒸发方式。
                  它的工作方式是,将钨片做成船状,然后安装在两个电极中间,在钨舟中加上药材,再缓缓给电极通电,电流通过钨舟,钨舟通电发热,这些低电压,大电流使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了,此方法由于操作方便,结构简单,成本低,故被很多设备应用,但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳,加上很多材料无法采用这种方式蒸镀,所以其有局限性。


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